ವಿವರಣೆ
FZ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್,ಫ್ಲೋಟ್-ಝೋನ್ (FZ) ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅತ್ಯಂತ ಶುದ್ಧ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಗಿದ್ದು, ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ಇಂಗಾಲದ ಕಲ್ಮಶಗಳ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಲಂಬ ತೇಲುವ ವಲಯ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಿಂದ ಎಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.FZ ಫ್ಲೋಟಿಂಗ್ ಝೋನ್ ಒಂದು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಇಂಗು ಬೆಳೆಯುವ ವಿಧಾನವಾಗಿದ್ದು, ಇದು CZ ವಿಧಾನಕ್ಕಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಬೀಜ ಸ್ಫಟಿಕವನ್ನು ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಇಂಗೋಟ್ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬೀಜ ಸ್ಫಟಿಕ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನಡುವಿನ ಗಡಿಯನ್ನು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ RF ಕಾಯಿಲ್ ಇಂಡಕ್ಷನ್ ತಾಪನದಿಂದ ಕರಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.RF ಕಾಯಿಲ್ ಮತ್ತು ಕರಗಿದ ವಲಯವು ಮೇಲ್ಮುಖವಾಗಿ ಚಲಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಬೀಜದ ಸ್ಫಟಿಕದ ಮೇಲೆ ಒಂದು ಸ್ಫಟಿಕವು ಗಟ್ಟಿಯಾಗುತ್ತದೆ.ಫ್ಲೋಟ್-ಜೋನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಏಕರೂಪದ ಡೋಪಾಂಟ್ ವಿತರಣೆ, ಕಡಿಮೆ ಪ್ರತಿರೋಧಕ ವ್ಯತ್ಯಾಸ, ಕಲ್ಮಶಗಳ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸುವುದು, ಗಣನೀಯ ವಾಹಕ ಜೀವಿತಾವಧಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರತಿರೋಧದ ಗುರಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ನೊಂದಿಗೆ ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ.ಫ್ಲೋಟ್-ಝೋನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಝೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ CZ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಬೆಳೆದ ಹರಳುಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಪರ್ಯಾಯವಾಗಿದೆ.ಈ ವಿಧಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ಡಯೋಡ್ಗಳು, ಥೈರಿಸ್ಟರ್ಗಳು, IGBTಗಳು, MEMS, ಡಯೋಡ್, RF ಸಾಧನ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ MOSFET ಗಳಂತಹ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು FZ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ, ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಕಣ ಅಥವಾ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್ಗಳಿಗೆ ತಲಾಧಾರವಾಗಿ , ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕಗಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೌರ ಕೋಶ ಇತ್ಯಾದಿ.
ವಿತರಣೆ
FZ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಎನ್-ಟೈಪ್ ಮತ್ತು ವೆಸ್ಟರ್ನ್ ಮಿನ್ಮೆಟಲ್ಸ್ (ಎಸ್ಸಿ) ಕಾರ್ಪೊರೇಷನ್ನಲ್ಲಿ ಪಿ-ಟೈಪ್ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು 2, 3, 4, 6 ಮತ್ತು 8 ಇಂಚಿನ ಗಾತ್ರದಲ್ಲಿ ವಿತರಿಸಬಹುದು (50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm ಮತ್ತು 200mm) ಮತ್ತು ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ <100>, <110>, <111> ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯದೊಂದಿಗೆ ಕತ್ತರಿಸಿದ, ಲ್ಯಾಪ್ಡ್, ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಫೋಮ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ನ ಪ್ಯಾಕೇಜ್ನಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಟನ್ ಬಾಕ್ಸ್ನೊಂದಿಗೆ ಹೊಳಪು.
ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿವರಣೆ
FZ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಅಥವಾ ವೆಸ್ಟರ್ನ್ ಮಿನ್ಮೆಟಲ್ಸ್ (SC) ಕಾರ್ಪೊರೇಶನ್ನಲ್ಲಿ ಆಂತರಿಕ, n-ಟೈಪ್ ಮತ್ತು p-ಟೈಪ್ ವಾಹಕತೆಯ FZ ಮೊನೊ-ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು 2, 3, 4, 6 ಮತ್ತು 8 ಇಂಚು ವ್ಯಾಸದ (50mm, 75mm, 100mm) ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರದಲ್ಲಿ ವಿತರಿಸಬಹುದು , 125mm, 150mm ಮತ್ತು 200mm) ಮತ್ತು <100>, <110>, <111> ಓರಿಯೆಂಟೇಶನ್ನಲ್ಲಿ 279um ನಿಂದ 2000um ವರೆಗಿನ ದಪ್ಪದ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿ, ಫೋಮ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ನ ಪ್ಯಾಕೇಜ್ನಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸಿದ, ಲ್ಯಾಪ್ಡ್, ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯದೊಂದಿಗೆ ಹೊರಗೆ ರಟ್ಟಿನ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯೊಂದಿಗೆ.
ಸಂ. | ವಸ್ತುಗಳು | ಪ್ರಮಾಣಿತ ವಿವರಣೆ | ||||
1 | ಗಾತ್ರ | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" |
2 | ವ್ಯಾಸ ಮಿಮೀ | 50.8 ± 0.3 | 76.2 ± 0.3 | 100 ± 0.5 | 125 ± 0.5 | 150 ± 0.5 |
3 | ವಾಹಕತೆ | ಎನ್/ಪಿ | ಎನ್/ಪಿ | ಎನ್/ಪಿ | ಎನ್/ಪಿ | ಎನ್/ಪಿ |
4 | ದೃಷ್ಟಿಕೋನ | <100>, <110>, <111> | ||||
5 | ದಪ್ಪ μm | 279, 381, 425, 525, 575, 625, 675, 725 ಅಥವಾ ಅಗತ್ಯವಿರುವಂತೆ | ||||
6 | ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ Ω-ಸೆಂ | 1-3, 3-5, 40-60, 800-1000, 1000-1400 ಅಥವಾ ಅಗತ್ಯವಿರುವಂತೆ | ||||
7 | RRV ಗರಿಷ್ಠ | 8%, 10%, 12% | ||||
8 | TTV μm ಗರಿಷ್ಠ | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
9 | ಬಿಲ್ಲು/ವಾರ್ಪ್ μm ಗರಿಷ್ಠ | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
10 | ಮೇಲ್ಪದರ ಗುಣಮಟ್ಟ | ಆಸ್-ಕಟ್, ಎಲ್/ಎಲ್, ಪಿ/ಇ, ಪಿ/ಪಿ | ||||
11 | ಪ್ಯಾಕಿಂಗ್ | ಒಳಗೆ ಫೋಮ್ ಬಾಕ್ಸ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾಸೆಟ್, ಹೊರಗೆ ರಟ್ಟಿನ ಪೆಟ್ಟಿಗೆ. |
ಚಿಹ್ನೆ | Si |
ಪರಮಾಣು ಸಂಖ್ಯೆ | 14 |
ಪರಮಾಣು ತೂಕ | 28.09 |
ಎಲಿಮೆಂಟ್ ವರ್ಗ | ಮೆಟಾಲಾಯ್ಡ್ |
ಗುಂಪು, ಅವಧಿ, ಬ್ಲಾಕ್ | 14, 3, ಪಿ |
ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆ | ವಜ್ರ |
ಬಣ್ಣ | ಕಡು ಬೂದು |
ಕರಗುವ ಬಿಂದು | 1414°C, 1687.15 K |
ಕುದಿಯುವ ಬಿಂದು | 3265°C, 3538.15 K |
300K ನಲ್ಲಿ ಸಾಂದ್ರತೆ | 2.329 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 |
ಆಂತರಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | 3.2E5 Ω-ಸೆಂ |
CAS ಸಂಖ್ಯೆ | 7440-21-3 |
ಇಸಿ ಸಂಖ್ಯೆ | 231-130-8 |
FZ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್, ಫ್ಲೋಟ್-ಜೋನ್ (FZ) ವಿಧಾನದ ಪ್ರಮುಖ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ಡಯೋಡ್ಗಳು, ಥೈರಿಸ್ಟರ್ಗಳು, IGBT ಗಳು, MEMS, ಡಯೋಡ್, RF ಸಾಧನ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ MOSFET ಗಳಂತಹ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ಗೆ ತಲಾಧಾರವಾಗಿ ಬಳಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಕಣ ಅಥವಾ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್ಗಳು, ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕಗಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೌರ ಕೋಶ ಇತ್ಯಾದಿ.
ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಸಲಹೆಗಳು
FZ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್